首页 > 最新消息 > 发明专利:I666176/2019(含过氧化氢废水处理系统及所应用之酵素载体) 2024-05-24
摘要:本发明揭露一种应用於晶圆制程之含过氧化氢废水处理系统,其包含:一废液缓冲槽;一酸硷值调整槽,其系与该废液缓冲槽连通;一过氧化氢分解槽,其系与该酸硷值调整槽连通,且该过氧化氢分解槽内系加入有复数过氧化氢酶,当废水进入该过氧化氢分解槽内时,该等过氧化氢酶系与废水内之过氧化氢产生反应,而将过氧化氢去除;及一过滤槽,其系与该过氧化氢分解槽连通,以供去除盐类。