2019(含過氧化氫廢水處理系統及所應用之酵素載體) 2024-05-24

摘要:本發明揭露一種應用於晶圓製程之含過氧化氫廢水處理系統，其包含：一廢液緩衝槽；一酸鹼值調整槽，其係與該廢液緩衝槽連通；一過氧化氫分解槽，其係與該酸鹼值調整槽連通，且該過氧化氫分解槽內係加入有複數過氧化氫酶，當廢水進入該過氧化氫分解槽內時，該等過氧化氫酶係與廢水內之過氧化氫產生反應，而將過氧化氫去除；及一過濾槽，其係與該過氧化氫分解槽連通，以供去除鹽類。

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